Stainless Steel Pirani Vacuum Gauge untuk Helium Leak Detector

Pengenalan Pirani Vacuum Gauge

Pirani vacuum gauge adalah sensor kunci dalam sistem vakum dari helium mass spectrometer detector kebocoran,digunakan untuk mengukur tekanan dalam rentang vakum menengah hingga rendah (terutama selama tahap pompa kasar)Unsur pengindera inti biasanya terbuat dari logam seperti tungsten atau nikel, sementara keseluruhan perumahan terbuat dari baja tahan karat.

Fungsi dari Pirani Vacuum Gauge

Gauge vakum Pirani berperan sebagai "monitor proses" dan "protektor sistem" dalam detektor kebocoran spektrometer massa helium, dengan fungsi spesifiknya sebagai berikut:
Pemantauan tekanan vakum pompa kasar (foreline):
Ketika detektor kebocoran dimulai, pompa mekanik harus terlebih dahulu mengevakuasi sistem vakum dari tekanan atmosfer ke tekanan yang relatif rendah (biasanya dalam urutan 10 Pa hingga 0,1 Pa).Gauge Pirani memantau perubahan tekanan selama tahap ini secara real time dan menampilkan mereka pada antarmuka instrumen.
Memberikan sinyal interlock untuk pembukaan katup vakum tinggi (fungsi pelindung inti):
Kamar spektrometer massa inti detektor kebocoran hanya dapat beroperasi dalam kondisi vakum tinggi (biasanya di bawah 0,1 Pa).Jika katup vakum tinggi (yang menghubungkan pompa mekanis ke pompa difusi/pompa turbomolekuler) dibuka sebelum tekanan garis depan cukup rendah, bisa merusak pompa vakum tinggi dan mencemari seluruh sistem.
Gauge Pirani terkoneksi dengan sistem kontrol instrumen.Sistem kontrol hanya akan memungkinkan katup vakum tinggi untuk membuka dan pompa turbomolekuler untuk memulai ketika gauge Pirani mendeteksi bahwa tekanan garis depan di bawah ambang batas keamanan yang ditetapkan sebelumnyaIni adalah langkah keamanan penting untuk melindungi pompa vakum tinggi mahal dan spektrometer massa.
Membantu dalam Sistem Status dan Kebocoran Lokasi Diagnosis:
Dengan mengamati tingkat penurunan tekanan selama pompa dan tekanan stabil akhir yang dicapai,dimungkinkan untuk menentukan secara awal apakah sistem memiliki kebocoran besar (tekanan secara konsisten gagal turun) atau pengeluar gas internal yang signifikan (tekanan turun perlahan).
Selama pengujian kebocoran, jika penyemprotan helium tidak hanya memicu respon sinyal spektrometer massa tetapi juga menyebabkan peningkatan yang nyata dalam pembacaan gauge Pirani,biasanya menunjukkan adanya kebocoran yang relatif besar.