Mesin Detektor Kebocoran Helium vakum bersertifikat CE untuk Industri Semikonduktor

SFJ-16M Helium Leak Detector

Indikator Kinerja






 

Tingkat kebocoran minimal yang dapat dideteksi
(Pa·m)³/s) / modus vakum

Mode vakum (ULTRA):5.0 × 10^-13 Pa·m³/s(kecepatan pompa helium > 5 l/s)
Mode vakum (FINE):1.0 × 10^{- 12} Pa·m³/s(kecepatan pompa helium 2,5L/s)

Tingkat kebocoran minimal yang dapat dideteksi
(Pa·m3/s) / mode sniffer

5.0 × 10^-8Pa·m³/s

Waktu respons (s)

< 1

Waktu memulai ((min)

≤ 95 s

Jangkauan deteksi kebocoran
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^-13~ 1,0 × 10^-3Pa·m³/s

Jangkauan tampilan tingkat kebocoran
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^-13~ 1,0 × 10^-3 Pa·m³/s

Tekanan deteksi kebocoran maksimum yang diizinkan ((Pa)

1500

Kualitas yang dapat dideteksi

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Konfigurasi Dasar










 

Antarmuka manusia-mesin

5 "warna LCD layar sentuh

Sumber ion

2pcs, iridium dilapisi yttrium oxide, otomatis beralih

I/O Input/output interface

Delapan input dan delapan output

Antarmuka komunikasi

RS232/485, LAN

Antarmuka MES

Standar

Ukuran fisik instrumen
(W) × ((D) × ((H), mm

592 * 498 * 370mm

Spesifikasi pelabuhan deteksi kebocoran

DN16 KF/2pcs

Sumber Daya

DC24V

Suhu operasi

0-40oC

Kekuatan

240W

Tampilan bahasa

Cina dan Inggris

Tampilan tingkat kebocoran

Gambar, grafik garis, grafik kurva