Mesin Detektor Kebocoran Helium vakum bersertifikat CE untuk Industri Semikonduktor

Detektor Kebocoran Helium SFJ-16M

Indikator Kinerja






 

Laju kebocoran minimum yang dapat dideteksi
(Pa·m³/s)/ mode vakum

Mode Vakum (ULTRA):5.0×10^-13 Pa·m³/s (kecepatan pompa helium >5 l/s)
Mode vakum (FINE):1.0×10^-12 Pa·m³/s (kecepatan pompa helium 2.5L/s)

Laju kebocoran minimum yang dapat dideteksi
(Pa·m3/s)/ mode sniffer

5.0×10^-8 Pa·m³/s

Waktu respons(s)

<1

Waktu startup(menit)

≤95s

Rentang deteksi kebocoran
(Pa·m³/s)

5.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Rentang tampilan laju kebocoran
(Pa·m³/s)

1.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Tekanan deteksi kebocoran maksimum yang diizinkan(Pa)

1500

Kualitas yang dapat dideteksi

2,3,4(H2 , He3, He4)

Konfigurasi Dasar










 

Antarmuka manusia-mesin

Layar Sentuh LCD warna 5"

Sumber ion

2 buah, yttrium oksida berlapis iridium, pengalihan otomatis

Antarmuka I/O Input/output

Delapan input dan delapan output

Antarmuka komunikasi

RS232/485,LAN

Antarmuka MES

Standar

Ukuran fisik instrumen
(L)×(D)×(T),mm

592 * 498 * 370mm

Spesifikasi port deteksi kebocoran

DN16 KF/2 buah

Catu Daya

DC24V

Suhu pengoperasian

0-40ºC

Daya

240W

Bahasa tampilan

Bahasa Mandarin dan Inggris

Tampilan laju kebocoran

Gambar, bagan batang, bagan kurva